Inspektion mit Transparenz.
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µInspect
Eigenschaften
- Multi-HDR-Bilderfassung
- Multi-Wellenlängen-Bilderfassung
- MIT – Multi Image Technology
- Detektiert kleinere Fehler als die Pixelauflösung
- Kombiniert verschiedene Bilder für die Inspektion, z.B. Auflicht rot + Durchlicht blau + Co-Axiallicht orange
- SECS/GEM-Schnittstelle
- KLARF-Daten
Modelle
- Laborsystem
- System
- mit Einzelwafermanipulation
- System mit Robotermanipulation mit Einzel- oder Doppelarm
Layout-Kontrolle
- Multi-Material-Layout
- Formkontrolle
- Kleinere Fehler als Pixelauflösung
- Fehlende Strukturen
- Falsche Strukturen
- Flecken
- Partikel
- Risse (mit Durchlicht)
- Unvollständiges Layout
